中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近日，寧波江豐電子材料股份有限公司發(fā)布公告稱，公司于2025年1月17日與KSTEINC.（以下簡(jiǎn)稱“KSTE”）簽署了《關(guān)于靜電吸盤(pán)項(xiàng)目之合作框架協(xié)議》（以下簡(jiǎn)稱“本協(xié)議”），公司擬向KSTE引進(jìn)靜電吸盤(pán)生產(chǎn)技術(shù)及采購(gòu)靜電吸盤(pán)生產(chǎn)線。
據(jù)悉，KSTEINC.是韓國(guó)領(lǐng)先的專業(yè)從事靜電吸盤(pán)生產(chǎn)以及相關(guān)的設(shè)備及工藝開(kāi)發(fā)、集成與安裝業(yè)務(wù)的企業(yè)，掌握了靜電吸盤(pán)的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和銷售領(lǐng)域的眾多專有技術(shù)和業(yè)務(wù)信息。
靜電吸盤(pán)，半導(dǎo)體設(shè)備必“闖”的一關(guān)
在先進(jìn)的大規(guī)模集成電路制造過(guò)程中有著幾百種工藝步驟，晶圓片需要在多達(dá)幾百種的工藝設(shè)備之間來(lái)回傳輸并進(jìn)行加工檢測(cè)。在加工過(guò)程中，晶圓片必須被十分平穩(wěn)、固定地安放在工藝設(shè)備上，靜電卡盤(pán)便承擔(dān)了此重任。
靜電卡盤(pán)又稱為靜電吸盤(pán)（ESC），簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，它是在靜電卡盤(pán)里面的電極層和被加工的晶圓片之間施加一個(gè)靜電場(chǎng)進(jìn)而產(chǎn)生一個(gè)靜電力使得晶圓片能夠穩(wěn)定的牢牢的固定在靜電卡盤(pán)上。目前的靜電吸盤(pán)主要采用氧化鋁陶瓷作為主體制造材料，而氧化鋁材料熱導(dǎo)率及相關(guān)機(jī)械性能不及氮化鋁陶瓷。因此采用氮化鋁陶瓷替代氧化鋁陶瓷作為靜電卡盤(pán)的制造材料已成為趨勢(shì)。
與傳統(tǒng)的機(jī)械卡盤(pán)和真空吸盤(pán)相比，靜電卡盤(pán)避免了傳統(tǒng)機(jī)械卡盤(pán)在使用過(guò)程中由于壓力、碰撞等機(jī)械原因?qū)斐刹豢尚迯?fù)的損傷，減少了顆粒污染，增大了晶片的有效加工面積，同時(shí)克服了真空吸盤(pán)不可以應(yīng)用于低壓環(huán)境、無(wú)法通過(guò)背吹氣體對(duì)晶片溫度進(jìn)行有效控制的缺陷。因此，靜電卡盤(pán)己經(jīng)取代了傳統(tǒng)的機(jī)械卡盤(pán)和真空吸盤(pán)，廣泛應(yīng)用于集成電路制造工藝。目前，靜電卡盤(pán)廣泛應(yīng)用于集成電路制造工藝中，特別是刻蝕、PVD、CVD等核心工藝中。
靜電卡盤(pán)從涉及到制造都會(huì)面臨很大的困難，首先它內(nèi)部有電極層，甚至有一些靜電卡盤(pán)需要有加熱功能，這個(gè)內(nèi)部加熱電極層的設(shè)計(jì)也是非常重要的；它還要求靜電卡盤(pán)對(duì)晶圓片的加持力非常均勻，同時(shí)它的溫場(chǎng)也要非常均勻。制造方面，它要求結(jié)構(gòu)非常精密，雖然靜電卡盤(pán)的厚度不是很高，但是內(nèi)部有很多的功能層，層厚等很多方面都很精細(xì)，燒結(jié)過(guò)程的多層金屬、陶瓷共燒技術(shù)，高精度加工技術(shù)要求非常高。而且靜電卡盤(pán)的表面還要進(jìn)行凸點(diǎn)設(shè)計(jì)和制造，這里也有很高的技術(shù)難度。
江豐電子：全面布局半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件
江豐電子主要專注于超高純金屬濺射靶材、半導(dǎo)體精密零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。近年來(lái)，公司抓住芯片制造產(chǎn)線、裝備國(guó)產(chǎn)替代、自主可控的重大發(fā)展機(jī)遇，充分整合資源、技術(shù)、市場(chǎng)等優(yōu)勢(shì)，積極推動(dòng)半導(dǎo)體精密零部件產(chǎn)品布局，持續(xù)投入半導(dǎo)體精密零部件制造工藝的研發(fā)，現(xiàn)已建成多個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件智能生產(chǎn)基地，全面布局金屬和非金屬類零部件。2024年上半年，江豐電子營(yíng)收達(dá)16.27億元。其中，精密零部件業(yè)務(wù)營(yíng)收近4億元，同比增長(zhǎng)96.14%，第二季度單季度實(shí)現(xiàn)2.24億元，創(chuàng)歷史新高。
近年來(lái)，隨著國(guó)家加大半導(dǎo)體領(lǐng)域的投入，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備采購(gòu)額逐年增加，推動(dòng)了包括靜電吸盤(pán)（ESC）在內(nèi)的核心部件的采購(gòu)量增長(zhǎng)。此外，隨著中國(guó)大陸晶圓產(chǎn)能的建設(shè)和擴(kuò)產(chǎn)，中國(guó)成為全球晶圓產(chǎn)能增長(zhǎng)的重心，帶動(dòng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的需求增長(zhǎng)，為國(guó)產(chǎn)靜電吸盤(pán)（ESC）的發(fā)展提供了良好的機(jī)遇。
此次與韓國(guó)KSTEINC.合作，引進(jìn)約定范圍的靜電吸盤(pán)產(chǎn)品所需的全部生產(chǎn)技術(shù)并采購(gòu)相關(guān)生產(chǎn)線，并最終實(shí)現(xiàn)江豐電子在中國(guó)大陸地區(qū)獨(dú)立量產(chǎn)，將會(huì)進(jìn)一步完善公司在半導(dǎo)體精密零部件領(lǐng)域的布局。
參考來(lái)源：江豐電子相關(guān)公開(kāi)資料
（中國(guó)粉體網(wǎng)/山川）
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