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【原創(chuàng)】合成砂將成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料——訪菲利華產(chǎn)品業(yè)務(wù)經(jīng)理朱夢瑤


來源:中國粉體網(wǎng)   初末

[導(dǎo)讀]  專訪湖北菲利華石英玻璃股份有限公司的產(chǎn)品業(yè)務(wù)經(jīng)理朱夢瑤。

中國粉體網(wǎng)訊  高純石英材料制品作為光伏及半導(dǎo)體等領(lǐng)域不可或缺的基礎(chǔ)性材料,其重要性不斷凸顯。2025年3月27日,由中國粉體網(wǎng)主辦的2025第三屆集成電路及光伏用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會在江蘇東海隆重召開,會議現(xiàn)場我們邀請到了湖北菲利華石英玻璃股份有限公司的產(chǎn)品業(yè)務(wù)經(jīng)理朱夢瑤,就合成砂的制備應(yīng)用及發(fā)展前景等問題進行了訪談交流。



中國粉體網(wǎng):朱經(jīng)理,首先請您介紹一下合成砂,它與其他石英砂有何不同?各自有何優(yōu)缺點?


朱經(jīng)理:合成砂,即以含硅化學品為原料經(jīng)人工合成方法制備的高純度石英砂。相較于天然石英砂,合成砂的主要優(yōu)點在于技術(shù)路線上完全可以實現(xiàn)6N乃至7N級別的純度,而且永遠不會像天然石英砂一樣受到礦源品質(zhì)及儲量的制約。合成砂目前面臨的挑戰(zhàn)主要在于批量生產(chǎn)時對潔凈廠房的高要求和相對較高的成本。


天然石英砂,顧名思義,是從天然礦石中經(jīng)過一系列提純過程得到的石英砂。其優(yōu)勢在于現(xiàn)階段的成本較低,出貨量大,在某些應(yīng)用場景中性能已足夠使用。然而,天然石英砂的純度通常較低,氣液包裹體無法完全根除,這使得天然砂制得的石英制品中永遠存在微氣泡缺陷且雜質(zhì)只能控制到5-10ppm級。


中國粉體網(wǎng):合成石英砂的制備方法有哪些?目前最主流的工藝是什么?


朱經(jīng)理:合成石英砂的制備主要分為兩種方法,分別采用正硅酸乙酯和四氯化硅作為原料。目前,使用正硅酸乙酯的工藝是最主流的。該方法首先通過水解反應(yīng)制備出二氧化硅凝膠,隨后經(jīng)過造粒(包括干燥、燒結(jié)、破碎和酸洗步驟),最終得到高純度的合成石英砂。盡管造粒技術(shù)有多種,例如破碎法、冷凍干燥法、噴霧造粒法和等離子熔融造粒法等,但它們的共同目標是在確保原料保持在7N-8N級別高純度的前提下,調(diào)整二氧化硅顆粒的尺寸,以獲得符合特定粒徑和性能要求的合成石英砂。


中國粉體網(wǎng):光伏行業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)對高純合成石英砂的性能要求有何不同?


朱經(jīng)理:通過分析國內(nèi)標準和實際應(yīng)用需求,可以得出光伏行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)對高純合成砂的性能要求在雜質(zhì)含量上有差異。


例如,在半導(dǎo)體領(lǐng)域,石英坩堝內(nèi)層合成料的純度要求達到0.4ppm以下;而光伏產(chǎn)業(yè)對石英坩堝內(nèi)層料的純度要求則相對寬松,僅需保證總雜質(zhì)含量在20ppm以下,且堿金屬元素(包括鋰、鈉、鉀)的總和不超過2ppm。


在光伏產(chǎn)業(yè)中,天然砂的性能已經(jīng)能夠滿足其需求。相比之下,合成砂的市場主要集中在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),這是因為半導(dǎo)體硅料對純度的要求更為嚴苛。


中國粉體網(wǎng):目前,我國合成砂的產(chǎn)業(yè)進展情況如何?


朱經(jīng)理:近年來,我國大量石英材料和硅材料相關(guān)企業(yè)在合成砂技術(shù)、路線、工藝這些取得了進展,包括菲利華在內(nèi)的企業(yè)能夠提供純度6N-6N5級別的合成砂產(chǎn)品。然而目前還沒有國內(nèi)廠家能夠?qū)崿F(xiàn)比肩日本三菱化學超高純產(chǎn)品的量產(chǎn)供應(yīng)能力。


中國粉體網(wǎng):您認為,未來合成高純砂能否成為天然砂的有力替代?它的發(fā)展前景是怎樣的?


朱經(jīng)理:合成高純石英砂有望成為天然砂的有力替代品,特別是在高端應(yīng)用領(lǐng)域。合成砂的最大優(yōu)勢除了比天然砂質(zhì)量穩(wěn)定,還可進行定量的某些元素的摻雜,隨著技術(shù)的不斷進步和成本的降低,尤其是在全球?qū)Ω呒兪⒉牧闲枨蟛粩嘣鲩L的背景下,合成砂將成為關(guān)鍵的基礎(chǔ)材料之一。


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末)

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