中國粉體網(wǎng)訊  近日，連云港市生態(tài)環(huán)境局對江蘇矽旺電子材料有限公司年產(chǎn)2000噸電子級超高純石英晶體材料制造項目環(huán)境影響報告表項目作出批復(fù)。

項目總投資120000萬元，新建原料處理系統(tǒng)、砣料沉積系統(tǒng)、砣料加工系統(tǒng)、檢驗系統(tǒng)、包裝系統(tǒng)和倉儲系統(tǒng)，建成后可達年產(chǎn)電子級超高純石英晶體材料2000噸生產(chǎn)能力。項目產(chǎn)品分為合成石英晶體材料（600t/a）和天然石英晶體材料（1400t/a）兩部分，均屬于高純石英晶體材料。

來源：美麗連云

CVD晶體

項目CVD晶體生產(chǎn)線采用高純合成石英晶體材料主流工藝CVD法，是將原料SiCl4通過四氯化硅供應(yīng)裝置氣化，以氣態(tài)形式送入氫氧火焰噴燈，在氫氧焰中水解，生成SiO2微粒粉塵，然后經(jīng)噴燈噴出，沉積于靶棒端部，經(jīng)過多次沉積形成要求尺度的多孔粉塵預(yù)制棒，然后去掉靶棒，將多孔粉塵預(yù)制棒在高溫下脫水、燒結(jié)成透明的實心玻璃錠，即為所需的石英晶體材料。

VAD晶體

項目VAD晶體生產(chǎn)線主要生產(chǎn)用原料為高純石英砂，將高純石英砂通過加料裝置加入VAD石英打砣機中，經(jīng)過氫氧焰高溫作用下熔融流入熔爐爐腔，進行沉積堆溶作業(yè)，在沉積生長流動過程中，在不同的沉積高度上形成不同直徑的同心圓熔融玻璃態(tài)圓柱體石英玻璃錠；高度每堆積生長到20mm~50mm時，開始自整形，石英火頭和熔融玻璃態(tài)圓柱體石英玻璃錠一起以徑向移動方式向熔爐爐腔內(nèi)壁運動，使熔融玻璃態(tài)圓柱體石英玻璃錠最大直徑處與爐腔內(nèi)壁產(chǎn)生摩擦，產(chǎn)生形變，使產(chǎn)品外型尺寸在高度范圍內(nèi)達到上下等徑要求，從而得到產(chǎn)品。

據(jù)了解，江蘇矽旺電子材料有限公司位于連云經(jīng)濟開發(fā)區(qū)板橋工業(yè)園，主要從事電子專用材料、光學(xué)玻璃、電子元器件等研發(fā)及生產(chǎn)、銷售。

高純石英晶體是半導(dǎo)體、光伏、電子信息和高端電光源等生產(chǎn)必不可少的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，也是芯片發(fā)展（晶圓制造與芯片封裝等）不可或缺的關(guān)鍵材料之一，在電子信息、新材料和新能源等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)以及國防軍工、國家安全中具有非常重要的作用和地位。

江蘇矽旺電子CVD車間負責(zé)人介紹：“超高純石英比起一般產(chǎn)品，在各個屬性方面都有所提升，具有高純度、高透光性、穩(wěn)定性等一些特點，這些性能使得超高純石英在一些光學(xué)應(yīng)用、裝備領(lǐng)域中占據(jù)了重要地位�！�

矽旺電子公司董事長表示，石英晶體材料是光刻機等高精尖領(lǐng)域的核心材料，長期以來被國外企業(yè)壟斷。矽旺電子的投產(chǎn)，將打破這一技術(shù)封鎖，實現(xiàn)國產(chǎn)替代，為國家重點項目提供自主可控的關(guān)鍵材料。

參考來源：連云港市生態(tài)環(huán)境局、連云港日報、美麗連云

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末）

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