中國(guó)粉體網(wǎng)訊 在我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)奮力突破技術(shù)壁壘的征程中，一則振奮人心的消息傳來(lái)：中研贏創(chuàng)智能科技有限公司自主研發(fā)的首臺(tái)大幅面TGV100納米氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)成功下線，并順利交付。這一里程碑式的成就，不僅標(biāo)志著我國(guó)在高端半導(dǎo)體封裝核心裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了重大跨越，更為我國(guó)先進(jìn)封裝工藝的發(fā)展注入了強(qiáng)勁的國(guó)產(chǎn)化動(dòng)力，讓世界看到了中國(guó)在半導(dǎo)體精密制造領(lǐng)域的硬核實(shí)力。
來(lái)源：中研贏創(chuàng)
隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷向微型化、高集成化邁進(jìn)，先進(jìn)封裝技術(shù)成為衡量一個(gè)國(guó)家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵指標(biāo)。在眾多先進(jìn)封裝技術(shù)中，玻璃通孔（TGV）技術(shù)憑借其在晶圓級(jí)封裝、顯示器件、MEMS傳感器以及算力芯片等高端領(lǐng)域的不可替代作用，成為行業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。然而，TGV技術(shù)的應(yīng)用并非易事，其核心難點(diǎn)之一便是在大面積玻璃基板上實(shí)現(xiàn)高精度、高效率的通孔加工，這對(duì)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的性能提出了近乎苛刻的要求，需要具備納米級(jí)精度、超大行程且運(yùn)行極其穩(wěn)定的超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。長(zhǎng)期以來(lái)，這類高端平臺(tái)的市場(chǎng)被國(guó)外廠商牢牢掌控，我國(guó)企業(yè)只能高價(jià)進(jìn)口，不僅增加了生產(chǎn)成本，更在技術(shù)上處處受制于人，嚴(yán)重制約了我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主發(fā)展。
中研贏創(chuàng)此次交付的TGV100納米氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，正是為打破這一困境而生。它凝聚了中研贏創(chuàng)在精密機(jī)械設(shè)計(jì)、高精度直驅(qū)電機(jī)、納米氣浮平臺(tái)、運(yùn)控算法等核心功能部件方面的深厚技術(shù)沉淀和創(chuàng)新成果，展現(xiàn)出諸多令人矚目的優(yōu)勢(shì)。
革命性的大幅面設(shè)計(jì)是TGV100的一大亮點(diǎn)。傳統(tǒng)半導(dǎo)體設(shè)備加工受限于12英寸晶圓幅面，而TGV100的加工幅面達(dá)到了12英寸晶圓的3.6倍，這一突破意義非凡。它能夠輕松滿足大尺寸玻璃基板的加工需求，大幅提升單次加工效率，同時(shí)提高整體生產(chǎn)良率，為企業(yè)帶來(lái)顯著的經(jīng)濟(jì)效益。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)追求規(guī)�；a(chǎn)的當(dāng)下，這樣的設(shè)計(jì)無(wú)疑為企業(yè)搶占市場(chǎng)先機(jī)提供了有力支撐。
卓越的納米級(jí)精度是TGV100的核心競(jìng)爭(zhēng)力。該平臺(tái)采用高性能直線電機(jī)、超精密氣浮導(dǎo)軌和高分辨率光柵編碼器，再結(jié)合先進(jìn)的閉環(huán)控制算法，實(shí)現(xiàn)了運(yùn)動(dòng)定位精度及重復(fù)定位精度穩(wěn)定達(dá)到亞100納米級(jí)。這一精度水平是確保TGV通孔加工極致精準(zhǔn)性、一致性和可靠性的關(guān)鍵。
卓越的穩(wěn)定性同樣是TGV100的重要特質(zhì)。通過(guò)創(chuàng)新性的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和先進(jìn)的主動(dòng)/被動(dòng)振動(dòng)抑制技術(shù)，平臺(tái)在高速、高加速度運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下仍能保持極高的剛性和穩(wěn)定性。在半導(dǎo)體工廠嚴(yán)苛的振動(dòng)環(huán)境中，它能夠長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，保證加工質(zhì)量的一致性，為企業(yè)的規(guī)�；a(chǎn)提供了可靠保障。
智能化集成能力讓TGV100更能適應(yīng)現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)的需求。平臺(tái)具備完善的軟件接口與數(shù)據(jù)交互能力，可無(wú)縫集成于客戶自動(dòng)化生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)智能化控制與工藝監(jiān)控。這不僅提高了生產(chǎn)效率，還能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生產(chǎn)過(guò)程中的各項(xiàng)參數(shù)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決問(wèn)題，為企業(yè)的精細(xì)化管理提供了有力支持。
TGV100的成功應(yīng)用，將顯著增強(qiáng)我國(guó)在半導(dǎo)體先進(jìn)封裝這一關(guān)鍵賽道的競(jìng)爭(zhēng)力。先進(jìn)封裝技術(shù)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要引擎，而核心裝備的自主可控是推動(dòng)先進(jìn)封裝技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)。隨著TGV100等國(guó)產(chǎn)高端裝備的不斷涌現(xiàn)，我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將在技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)升級(jí)的道路上走得更加穩(wěn)健。
展望未來(lái)，我們有理由相信，在眾多像中研贏創(chuàng)這樣的企業(yè)的共同努力下，我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)一定能夠?qū)崿F(xiàn)科技自立自強(qiáng)，在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局中占據(jù)更加重要的地位，為我國(guó)經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展注入源源不斷的動(dòng)力。
參考來(lái)源:
中研贏創(chuàng)官網(wǎng)
張迅.三維集成電子封裝中TGV技術(shù)及其器件應(yīng)用進(jìn)展
(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/月明)
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