中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近日,遼寧拓邦鴻基半導(dǎo)體材料股份有限公司在12英寸半導(dǎo)體石英器件領(lǐng)域取得了重大突破,成功通過(guò)了全球半導(dǎo)體設(shè)備龍頭國(guó)際電氣株式會(huì)社(KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION,簡(jiǎn)稱KE集團(tuán))的供應(yīng)商資格認(rèn)證。
來(lái)源:拓邦鴻基官微
據(jù)了解,高純石英材料具有良好的透光性能、耐熱性能、電學(xué)性能、電絕緣性及化學(xué)穩(wěn)定性,可以應(yīng)用于半導(dǎo)體、光纖、光學(xué)和光伏等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體行業(yè)中,高純石英主要用于制備石英坩堝和作為晶圓加工輔材。石英坩堝主要用于生長(zhǎng)單晶硅,是半導(dǎo)體工業(yè)中不可或缺的容器;而在晶圓加工的刻蝕、擴(kuò)散、氧化、退火等關(guān)鍵工序中,石英片、石英環(huán)、石英舟等高純石英輔材同樣發(fā)揮著不可替代的作用。
當(dāng)前,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體高端石英制品市場(chǎng)仍以外資企業(yè)為主導(dǎo),本土企業(yè)在高端加工能力上與國(guó)際領(lǐng)先水平存在差距,國(guó)產(chǎn)化率相對(duì)較低。尤其是12英寸(300mm)高溫區(qū)石英制品,因半導(dǎo)體設(shè)備廠和晶圓廠(FAB)設(shè)置的認(rèn)證門檻極高,長(zhǎng)期以來(lái)國(guó)產(chǎn)化率處于低位,而獲得國(guó)際頭部設(shè)備廠認(rèn)證,正是突破這一困境的核心環(huán)節(jié)。
來(lái)源:拓邦鴻基官微
遼寧拓邦鴻基半導(dǎo)體材料股份有限公司成立于2017年5月,是國(guó)內(nèi)高純石英制品生產(chǎn)企業(yè),主要從事半導(dǎo)體高純石英制品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。憑借深厚的技術(shù)積累,公司已擁有50余項(xiàng)授權(quán)發(fā)明專利、軟件著作權(quán)及實(shí)用新型專利,并先后榮獲省科技型中小企業(yè)、省級(jí)專精特新小巨人企業(yè)、國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)、國(guó)家級(jí)專精特新小巨人企業(yè)等多項(xiàng)榮譽(yù)。
來(lái)源:東北新聞網(wǎng)
在產(chǎn)品布局上,拓邦鴻基構(gòu)建了覆蓋氧化、擴(kuò)散、外延、刻蝕、清洗等全工序的完整產(chǎn)品體系。經(jīng)過(guò)多年技術(shù)攻關(guān),其產(chǎn)品質(zhì)量與性能獲得行業(yè)高度認(rèn)可,已成功進(jìn)入北方華創(chuàng)、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、聯(lián)電(UMC)、上海華虹等知名半導(dǎo)體企業(yè)的供應(yīng)鏈。
作為全球十大半導(dǎo)體設(shè)備制造商之一,KE集團(tuán)在爐管式ALD(原子層沉積)技術(shù)領(lǐng)域處于行業(yè)領(lǐng)先地位。該集團(tuán)以沉積工藝和薄膜質(zhì)量改進(jìn)工藝為核心,其批量處理技術(shù)可一次完成數(shù)十片乃至更多晶圓的沉積,顯著提升生產(chǎn)效率,在半導(dǎo)體制造諸多關(guān)鍵環(huán)節(jié)中占據(jù)重要地位。
此次通過(guò)KE集團(tuán)認(rèn)證,不僅印證了拓邦鴻基的產(chǎn)品在純度、加工精度等關(guān)鍵指標(biāo)上已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,更為其拓展全球市場(chǎng)鋪平了道路。這一突破既是企業(yè)發(fā)展的里程碑,更標(biāo)志著中國(guó)本土企業(yè)在半導(dǎo)體核心零部件領(lǐng)域的全球競(jìng)爭(zhēng)力實(shí)現(xiàn)顯著躍升,為行業(yè)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程注入強(qiáng)勁動(dòng)力。
參考來(lái)源:拓邦鴻基官微、遼寧日?qǐng)?bào)、東北新聞網(wǎng)
(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/初末)
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