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近日，中國科學技術(shù)大學理化科學實驗中心新安裝了國儀量子自主研制的超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。目前，該設(shè)備已完成前期調(diào)試，即將投入試運行。

中國科學技術(shù)大學理化科學實驗中心內(nèi)的兩款國儀量子掃描電鏡

中國科學技術(shù)大學理化科學實驗中心

中國科學技術(shù)大學理化科學實驗中心是中國科學技術(shù)大學公共技術(shù)創(chuàng)新平臺實驗中心之一，從1979年開始籌建。中心以“集中投入、統(tǒng)一管理、開放公用、資源共享”為建設(shè)原則，以建立條件優(yōu)良、功能配套、管理規(guī)范、先進高效的優(yōu)質(zhì)資源和共享機制為建設(shè)目標，為培養(yǎng)創(chuàng)新人才和開展高水平科學研究工作提供技術(shù)支撐，為社會經(jīng)濟建設(shè)提供技術(shù)保障。作為學校最早建成的大型儀器開放平臺，中心不僅承擔著相關(guān)院系、國家研究中心、國家重點實驗室，省部級實驗室以及國家、省部級等各類科研項目的技術(shù)支持分析測試任務(wù)，同時，也對相關(guān)學科提供教學、科研實驗條件與環(huán)境。

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。全新設(shè)計的樣品倉，擴展接口增加至16個，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴展應用范圍。高級掃描模式和自動功能增強，帶來了更強的性能和更好的體驗。

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

• 樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景

• 高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機架減震設(shè)計，可搭配整體罩殼設(shè)計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

• 最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導體和科研應用需求

應用案例

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