國儀量子技術(shù)(合肥)股份有限公司
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SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。全新設(shè)計的樣品倉,擴展接口增加至16個,快速換樣倉**支持8寸晶圓(**直徑208 mm),極大擴展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強,帶來了更強的性能和更好的體驗。
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