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薄膜測量主題網(wǎng)絡(luò)研討會

薄膜通常是指形成于基底之上厚度在一微米或幾微米以下的固態(tài)材料。隨著沉積工藝的進步，薄膜材料的的功能性不斷被開發(fā)利用，越來越多的應(yīng)用于不同的工業(yè)領(lǐng)域，譬如半導(dǎo)體、光學(xué)器件、汽車、新能源等諸多行業(yè)。

沉積工藝決定了薄膜的成分和結(jié)構(gòu)，最終影響薄膜的物理性能。馬爾文帕納科的X射線分析儀器可以對不同類型的薄膜材料進行表征，幫助客戶獲取薄膜成分、厚度、微結(jié)構(gòu)、取向等關(guān)鍵信息，幫助研究者優(yōu)化或控制工藝參數(shù)，以改善薄膜材料的性能。

10月14日（周五），馬爾文帕納科將與儀器信息網(wǎng)聯(lián)合推出主題為“微觀丈量，‘膜’力無限——X射線分析技術(shù)應(yīng)用于薄膜測量”的專題網(wǎng)絡(luò)研討會。活動將特邀同濟大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院朱京濤教授，馬爾文帕納科亞太區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)理鐘明光先生，以及馬爾文帕納科XRD產(chǎn)品經(jīng)理王林博士，XRF產(chǎn)品經(jīng)理熊佳星先生做薄膜測量應(yīng)用的相關(guān)報告，內(nèi)容涉及多晶薄膜反射、織構(gòu)、應(yīng)力；半導(dǎo)體薄膜測量以及涂層、鍍層等金屬薄膜的成分及結(jié)構(gòu)鑒定。還將安排幾款用于薄膜測量的X射線分析儀器的視頻演示。期待與涉及薄膜測量方向的廣大科研工作者和企業(yè)研發(fā)、質(zhì)控專業(yè)人員共同探討薄膜測量領(lǐng)域X射線分析技術(shù)的發(fā)展及應(yīng)用。

活動日程

朱京濤 博士，教授，博士生導(dǎo)師，畢業(yè)于復(fù)旦大學(xué)物理系，主要從事微納光學(xué)、薄膜光學(xué)與技術(shù)研究。作為項目負責(zé)人，已完成國家自然科學(xué)基金重點項目1項，面上項目6項，國際合作交流項目1項，重大專項1項，軍口重大專項5項，軍口配套課題十余項，在國際刊物上共發(fā)表學(xué)術(shù)論文140余篇，國際學(xué)術(shù)會議邀請報告6次。獲得上海市技術(shù)發(fā)明二等獎和軍隊科技進步三等獎各一項。為我國重大科學(xué)裝置研制極紫外、軟X射線與X射線波段納米薄膜器件，并實現(xiàn)進口替代和產(chǎn)業(yè)化。

王  林博士，馬爾文帕納科中國區(qū)XRD產(chǎn)品經(jīng)理。2004年畢業(yè)于清華大學(xué)物理系獲學(xué)士學(xué)位，2011年于澳大利亞University of Wollongong伍倫貢大學(xué)獲得博士學(xué)位，博士期間研究方向為超導(dǎo)薄膜材料。畢業(yè)后即加入帕納科公司，從事XRD應(yīng)用研究及技術(shù)支持等工作。

鐘明光先生，馬爾文帕納科亞太區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)理，北維吉尼亞大學(xué)工程碩士，曾任臺灣明志科技大學(xué)及臺灣東海大學(xué) X-Ray專題講師。在馬爾文帕納科任職超過20年，一直從事半導(dǎo)體行業(yè)分析設(shè)備的應(yīng)用與研究，發(fā)表多篇 X-Ray 應(yīng)用于SiGe材料的分析技術(shù)文章，精通X射線衍射及X射線熒光在第一代、第二代及第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的分析技術(shù)。

熊佳星先生，馬爾文帕納科中國區(qū)XRF產(chǎn)品經(jīng)理。2010年畢業(yè)于中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)，化學(xué)物理專業(yè)碩士；2012年加入荷蘭帕納科公司，負責(zé)其在中國XRF產(chǎn)品的應(yīng)用開發(fā)及支持工作，后擔(dān)任產(chǎn)品經(jīng)理，負責(zé)XRF產(chǎn)品線。

薄膜測量相關(guān)產(chǎn)品介紹

高分辨 X 射線衍射儀

X'Pert3 MRD/XL

馬爾文帕納科新一代X'Pert3 MRD(XL)高分辨X射線衍射儀，專為薄膜分析打造，具有全新編碼定位技術(shù)測角儀，PreFIX預(yù)校準光路系統(tǒng)，適用高負載條件的歐拉環(huán)樣品臺，允許裝載200mm-300mm的晶圓，PIXcel3D探測器實現(xiàn)高動態(tài)范圍的測量，靈活切換0D-1D-2D靜態(tài)及掃描模式。性能的改進大大增強其可靠性，進一步提高了分析能力?？商峁┮惑w化解決方案來滿足不同需求和應(yīng)用：

半導(dǎo)體和單晶晶圓：倒易空間探索、搖擺曲線分析

多晶固體和薄膜：織構(gòu)分析、反射測量

超薄薄膜、納米材料和非晶層：掠入射物相鑒定、面內(nèi)衍射

非常溫條件下的測量：隨溫度和時間變化的峰高

多功能 X 射線衍射系統(tǒng)

Empyrean 銳影

Empyrean銳影多功能X射線衍射系統(tǒng)具有在一臺儀器上測量多種類樣品的能力，無論是粉末、薄膜還是納米材料與固體物質(zhì)。作為馬爾文帕納科第三代Empyrean銳影，具有智能“MaltiCore”多核光路系統(tǒng)，無需人工干預(yù)即可實現(xiàn)多種類的不同測量。外延薄膜分析中，Empyrean銳影可以放置最大140mm的晶圓，對2英寸的晶圓和晶圓碎片進行完整XY Mapping。在薄膜分析領(lǐng)域的應(yīng)用還包括：

物相鑒定（和深度剖析）

X射線反射

薄膜應(yīng)力分析

織構(gòu)分析

In-plane衍射

外延層分析

倒易空間Mapping

非常溫環(huán)境條件下測量

多功能臺式XRD

Aeris 

Aeris臺式X射線衍射儀具有大功率系統(tǒng)上才能實現(xiàn)的數(shù)據(jù)質(zhì)量和數(shù)據(jù)采集速度。外置進樣系統(tǒng)，易于使用，方便環(huán)保。無需外置水冷、占地面積小，節(jié)約實驗室空間。新一代Aeris，還可配置掠入射薄膜分析功能模塊。

圓晶分析儀

2830ZT 

2830ZT波長色散X射線熒光圓晶分析儀提供了用于測量薄膜厚度和成分的功能。針對半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲行業(yè)而設(shè)計，專門配備了具有突破性的ZETA技術(shù)X射線管，和多層膜分析軟件FP Multi，F(xiàn)ALMO-2G可集成到任意實驗室或晶圓廠，該儀器可為多種晶片（厚達300mm）測定層結(jié)構(gòu)、厚度、摻雜都和表面均勻性。

波長色散X射線熒光光譜儀

Zetium X射線熒光光譜儀

Zetium光譜儀金屬專業(yè)版提供了一個完整的專用工具，可用于分析金屬制造所需的原材料以及特定的金屬解決方案，滿足過程控制的苛刻分析要求。這是通過提供專用解決方案，融合優(yōu)化硬件、內(nèi)置專業(yè)知識模板實現(xiàn)的，并可根據(jù)要求定制。軟件中可添加Stratos涂層分析軟件，完成對涂層、表面層的多層結(jié)構(gòu)進行快速、簡單和非破壞性的分析。

臺式能量色散X射線熒光光譜儀

Epsilon 4 

Epsilon 4臺式XRF分析儀，廣泛用于從研發(fā)到流程控制等各個領(lǐng)域中需要從氟(F)到镅(Am)元素分析的行業(yè)細分市場。Epsilon4將激發(fā)和檢測技術(shù)與成熟軟件和智能設(shè)計相結(jié)合，其分析性能更接近于功率更高的落地式XRF光譜儀。

Malvern Panalytical

Malvern Panalytical ，馬爾文帕納科的使命是通過對材料進行化學(xué)、物理和結(jié)構(gòu)分析，打造出客戶導(dǎo)向型創(chuàng)新解決方案和服務(wù)，從而提高效率和產(chǎn)生切實的經(jīng)濟影響。通過利用包括人工智能和預(yù)測分析在內(nèi)的最近技術(shù)發(fā)展，我們能夠逐步實現(xiàn)這一目標。這將讓各個行業(yè)和組織的科學(xué)家和工程師可解決一系列難題，如最大程度地提高生產(chǎn)率、開發(fā)更高質(zhì)量的產(chǎn)品及幫助產(chǎn)品更快速地上市。