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安徽貝意克設備技術有限公司

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回轉CVD設備

回轉CVD設備
  • 品牌:貝意克
  • 產地:安徽
  • 關注度:5932
  • 型號: BTF-1200C-V-R-280
  • 報價:面議
  • 信息完整度:
核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:其他
  • 金屬電熱元件:鐵鉻鋁絲
  • 燒結氣氛:真空
  • 溫控精度:±1℃
  • 最高溫度:1200℃
  • 額定溫度:1100℃
產品介紹

一、設備特點:

1、本設備提供一個五溫區(qū)的超長溫場,五個溫區(qū)可獨立控制

2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理,上下可電動開啟。

3、流量計和加熱采用模塊化設計,便于維護保養(yǎng)。

4、加熱元件采用康泰爾摻鉬合金電阻絲,**使用溫度可以達到1200度,溫場均勻,使用壽命長。

5、采用觸摸屏和工控電腦自動控制,參數(shù)設置和操作直觀方便,參數(shù)自動記錄保持。

6、設備集成化設計、以及集成化管理,美觀方便。

 

二、設備組成:加熱系統(tǒng),爐管轉動系統(tǒng),螺旋送料系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、工控及操作系統(tǒng)。

1、加熱系統(tǒng):

該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研實驗處理,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件為K型熱電偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統(tǒng)。

高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調節(jié)儀表控員的干預,可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統(tǒng)設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。

 

2、爐管轉動系統(tǒng):

爐管轉動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉動,轉速在0-60r/min連續(xù)可調,且能在60r/min轉速下長時間運行。管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結更均勻。

 

3、螺旋送料器:

先將樣品儲存于樣品罐中,通過螺旋送料器將樣品送入石英管內。送料完成之后送料桿退回到原始位置。周而復始,達到自動送料。


4、供氣系統(tǒng):

供氣系統(tǒng)是一種可控制三種氣體按不同流量進行混合配比,也可根據(jù)實驗需求加裝洗氣裝置,質量流量計安裝于密封的可移動機柜內,由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成,觸摸屏控制。


5、真空系統(tǒng):

真空機組,內部安裝機械泵1臺,電阻真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。

 

 

三、加熱主體設備技術參數(shù):

 

腔體尺寸

外徑Φ280 ,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可選 (中間異型區(qū)域尺寸)

爐膛保溫材料

氧化鋁纖維

表面溫度

≤60℃

加熱元件

進口KTL電阻絲

加熱區(qū)數(shù)量

5區(qū),每個溫度獨立控制,使溫場均勻性更好

加熱區(qū)長度

300+300+300+300+300mm

恒溫區(qū)長度

真空條件兩端加氧化鋁管堵的情況下,五個溫區(qū)設定同一溫度使恒溫區(qū)可達1200mm

使用溫度

1200℃

建議長時間使用溫度

<1100℃

控溫精度

±1℃

升溫速率

0-20℃/min,建議升溫速率10℃/min

設備功率

28KW

設備工作電源

380V/50HZ

熱電偶型號

K型

控制器

可編程控溫儀表,PID調節(jié),升、降保溫全自動

控溫方式

人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現(xiàn)雙控,采用模糊型PID控制

無紙記錄

內置存儲記錄運行工藝數(shù)據(jù),外接USB接口,可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)

結構描述

設備可對半電動開啟,加快冷卻速度、表面溫度低于60℃

轉動密封收集系統(tǒng)

爐管一端配有不銹鋼密封可轉動水冷法蘭、螺旋送料裝置

 

四、3路供氣系統(tǒng)參數(shù)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型號根據(jù)要求定制)

耐壓

3MPa

接口

Φ6

顯示

液晶屏顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6卡套接頭

 

、真空機組參數(shù):

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

60m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF40

排氣口口徑

KF40

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

電阻真空計參數(shù):

配用規(guī)管:

ZJ-52T電阻規(guī),

測量范圍:

10 5 ~10 -1 Pa,

測量路數(shù):

1路

控制范圍:

 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

控制方式:

繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載

電源:

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

功耗:

20W


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工商信息

企業(yè)名稱

安徽貝意克設備技術有限公司

企業(yè)類型

信用代碼

91340100591423143H

法人代表

注冊地址

成立日期

注冊資本

有效期限

經(jīng)營范圍

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