安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
已認(rèn)證
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產(chǎn)品特色
1、三段電阻絲加熱爐,加熱溫區(qū)300+300+300,上下6點(diǎn)獨(dú)立控溫,溫場(chǎng)均勻性好;
2、設(shè)備兩端配有磁流體密封法蘭,確保爐管能在真空條件下進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng);
3、設(shè)備配有螺旋上料機(jī)構(gòu),上料電機(jī)轉(zhuǎn)速可調(diào),可自由調(diào)節(jié)上料速度;
4、智能一體化工控屏顯示控制,操作界面簡(jiǎn)潔,方便使用。
設(shè)備組成
本臺(tái)定制回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備,可實(shí)現(xiàn)一次加3L粉料進(jìn)行生產(chǎn);從結(jié)構(gòu)上共分成主體設(shè)備、上料機(jī)構(gòu)、收料機(jī)構(gòu)三大模塊。
一、主體CVD設(shè)備
主體CVD設(shè)備主要包含加熱系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、爐管回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
1、加熱系統(tǒng):三溫區(qū)加熱爐膛,溫區(qū)長(zhǎng)度300+300+300mm,總加熱功率12KW??販?zé)犭娕紴镵型熱電偶,每段溫區(qū)爐膛上下各1個(gè)控溫點(diǎn)獨(dú)立控溫,提高爐膛溫場(chǎng)均勻性。
2、氣路系統(tǒng):6路工作氣體,分別由5個(gè)D07-19B 500sccm N2和1個(gè)CS200A 500sccm N2質(zhì)量流量計(jì)控制進(jìn)入混氣罐,另外配置1路吹掃氣路,由1個(gè)D07-19B 5slm N2質(zhì)量流量計(jì)并聯(lián)接入混氣罐之前,可以對(duì)整個(gè)氣路系統(tǒng)進(jìn)行吹掃。
3、真空系統(tǒng):采用BSV30真空泵,并配置PCG550真空計(jì)檢測(cè)腔體真空度。
4、爐管回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu):采用伺服電機(jī),并配置1:30減速機(jī),保證爐管回轉(zhuǎn)平穩(wěn)。
二、上料機(jī)構(gòu)
上料機(jī)構(gòu)由螺桿送料器、升降機(jī)構(gòu)、滑動(dòng)滑軌組成,送料前通過(guò)搖動(dòng)渦輪升降器手柄可以調(diào)節(jié)螺桿送料器的送料螺桿的中心高度,與設(shè)備法蘭中心高度一致后,鎖緊升降器上方導(dǎo)柱的鎖緊手柄;可左右移動(dòng)送料螺桿至合適位置進(jìn)行送料。
三、收料機(jī)構(gòu)
用真空泵將收料桶抽成真空狀態(tài),將收料桿深入設(shè)備內(nèi)部物料處,打開(kāi)收料桿上的球閥,利用真空負(fù)壓產(chǎn)生的吸力將物料吸入收料桶內(nèi)。
技術(shù)參數(shù)
額定功率 | 15KW(加熱12KW+真空泵1.5KW+電機(jī)1.5KW) |
額定電壓 | AC380V 50/60Hz |
**溫度 | 1200℃(<1h) |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min |
爐管尺寸 | 異型石英管 |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300+300+300mm |
恒溫區(qū) | 600mm |
控溫方式 | 10寸觸控屏控制,模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
爐體尺寸 | 主體設(shè)備:2600*960*1500mm 上料機(jī)構(gòu):1600*600*1500mm |
設(shè)備凈重 | 600Kg |
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