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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
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一、設(shè)備組成
這是一款智能型PECVD系統(tǒng)。該設(shè)備主要分為四大部分：多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動化控制軟件集成系統(tǒng)。
1、開啟式加熱爐
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，6點控溫；設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可電動開啟方便客戶更換維修反應管。
2、氣路系統(tǒng)
可由質(zhì)量流量計精確控制多路氣體按不同流量進行混合配比，另外單獨1路過鼓泡器后進入反應管內(nèi)。
3、射頻組件
1000W高性能射頻輝光均勻，可使整個反應腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)。
4、 智能控制系統(tǒng)
采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。
二、技術(shù)參數(shù)
**溫度 | 1200℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能，人機界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀和軟件實現(xiàn)雙控 |
加熱總功率 | ≤15KW |
加熱區(qū)尺寸 | 300+300+300mm |
射頻功率 | 1000W |
設(shè)備尺寸 | 2550*850*1600mm |
設(shè)備重量 | 約600KG |
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