湖南頂立科技股份有限公司
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采用先進的控制技術(shù),能精密控制H2、C3H6的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動小;
全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
多級高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;
可選配新設(shè)計的防腐蝕真空機組,持續(xù)工作時間長,維修率低;
適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。
參數(shù)\型號 | HCVD-101015-ZrC | HCVD-152023-ZrC | VCVD-0608-ZrC | VCVD-0812-ZrC | VCVD-1120-ZrC | VCVD-1218-ZrC | VCVD-1520-ZrC |
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm) | 1000×1000×1500 | 1500×2000×2300 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
**溫度(℃) | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
溫度均勻性(℃) | ±10/±15 | ±15/±20 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。
結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動/自動
爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì):碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC
熱電偶:C/S分度號
紅外儀:單比色/雙比色
真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組
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企業(yè)名稱
湖南頂立科技股份有限公司企業(yè)類型
其他股份有限公司(非上市)信用代碼
91430100788042096T法人代表
戴煜注冊地址
中國(湖南)自由貿(mào)易試驗區(qū)長沙片區(qū)星沙產(chǎn)業(yè)基地(長龍街道)涼塘東路1271號成立日期
2006-05-25注冊資本
3989.2752萬人民幣有效期限
2006-05-25 至 無固定期限經(jīng)營范圍
許可項目:第二類醫(yī)療器械生產(chǎn);第三類醫(yī)療器械生產(chǎn);第三類醫(yī)療器械經(jīng)營(依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動,具體經(jīng)營項目以相關(guān)部門批準文件或許可證件為準)一般項目:新材料技術(shù)研發(fā);新材料技術(shù)推廣服務;技術(shù)服務、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣;工業(yè)設(shè)計服務;3D打印服務;3D打印基礎(chǔ)材料銷售;增材制造;石墨及碳素制品制造;石墨及碳素制品銷售;合成材料制造(不含危險化學品);高性能纖維及復合材料制造;高性能纖維及復合材料銷售;金屬材料制造;非金屬礦物制品制造;非金屬礦及制品銷售;金屬基復合材料和陶瓷基復合材料銷售;鍛件及粉末冶金制品制造;鍛件及粉末冶金制品銷售;金屬表面處理及熱處理加工;機械電氣設(shè)備制造;機械設(shè)備研發(fā);機械設(shè)備銷售;機械設(shè)備租賃;專用設(shè)備制造(不含許可類專業(yè)設(shè)備制造);冶金專用設(shè)備制造;冶金專用設(shè)備銷售;環(huán)境保護專用設(shè)備制造;環(huán)境保護專用設(shè)備銷售;泵及真空設(shè)備制造;泵及真空設(shè)備銷售;智能基礎(chǔ)制造裝備制造;智能基礎(chǔ)制造裝備銷售;烘爐、熔爐及電爐制造;烘爐、熔爐及電爐銷售;增材制造裝備制造;增材制造裝備銷售;非居住房地產(chǎn)租賃;貨物進出口;技術(shù)進出口;第二類醫(yī)療器械銷售(除依法須經(jīng)批準的項目外,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動)。
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