核心參數(shù)
- 非金屬電熱元件:其他
- 金屬電熱元件:其他
- 燒結(jié)氣氛:其他
- 溫控精度:±1℃
- 最高溫度:1200
- 額定溫度:1200
產(chǎn)品用途:
此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控
生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)真空淬火退火,快速降溫等工藝實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品組成:
CVD系統(tǒng)配置:
1.1200度開啟式真空管式爐(可選配多溫區(qū))。
2.滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng),并配有風(fēng)冷系統(tǒng)。
3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)
產(chǎn)品特點(diǎn):
控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。
中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵,防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統(tǒng)使用壽命。
(電動(dòng))滑動(dòng)系統(tǒng)采用溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng),等程序完成,爐體按設(shè)定的速度滑動(dòng),因有滑動(dòng)限位功能爐體不會(huì)發(fā)生碰撞,待樣品露出爐體后,通過風(fēng)冷系統(tǒng)快速降溫。
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天津中環(huán)電爐股份有限公司簡稱中環(huán)電爐,始于1993年,以“為用戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品”為使命,致力于成為材料燒結(jié)測試系統(tǒng)專業(yè)生產(chǎn)商。(致力于成為材料燒結(jié)測試系統(tǒng)解決方案專家)中環(huán)電爐集研發(fā)、制造、營銷能力于一身,以實(shí)驗(yàn)室電爐和熱分析系統(tǒng)兩大產(chǎn)品線為核心,已擁有實(shí)驗(yàn)室電加熱類產(chǎn)品21大系列280余種, 熱分析類產(chǎn)品可視化高溫形變分析儀和高溫接觸角測試儀等,**達(dá)到40多項(xiàng),并以每年10余項(xiàng)的數(shù)量遞增,在國家級(jí)科研院所,知名高校和重點(diǎn)領(lǐng)域企業(yè)擁有上萬用戶,公司產(chǎn)品主要應(yīng)用于金屬
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