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四探針電阻率測試儀工作流程

本文從的定義，工作原理，組成，

四探針電阻率測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測量。單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)；美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

雙電測試法：

利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析.

優(yōu)點(diǎn)：

自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，提高精確度，

特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。