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高溫下測試導(dǎo)體新材料的電導(dǎo)率特性變化情況
功能概述：overview
1. 四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合
2. 配置高溫四探針測試探針治具
3. PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制.
4. 量程測試范圍.
應(yīng)用說明：
半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求，測控軟件實(shí)時(shí)繪制出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜，及過程數(shù)據(jù)值的報(bào)表分析.
高溫下測試導(dǎo)體新材料的電導(dǎo)率特性變化情況
適用行業(yè)：Applicable industry:
用于：企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
雙電測四探針儀是運(yùn)用直線四探針雙位測量。設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測試方法
標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
高溫下測試導(dǎo)體新材料的電導(dǎo)率特性變化情況
型號及參數(shù)Models and technical parameters：
規(guī)格型號Models | FT-351A | FT-351B | FT-351C |
1.方塊電阻范圍sheet resistance | 10-5～2×105Ω/□ | 10-6～2×105Ω/□ | 10-4～1×107Ω/□ |
2.電阻率范圍resistivity range | 10-6～2×106Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm | 10-5～2×108Ω-cm |
3.測試電流范圍test current range | 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100 mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA | 10mA ---200pA |
4.電流精度current accuracy | ±0.1%讀數(shù) | ±0.1讀數(shù) | ±2% |
5.電阻精度resistance accuracy | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤10% |
PC軟件界面 PC software interface | 顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness | ||
7.測試方式test mode | 雙電測量Double electrical measurement | ||
8.四探針儀工作電源working power | AC 220V±10%.50Hz <30W
| ||
9.誤差errors | ≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 standard samples） | ≤15% | |
溫度(選購)Highest temperature (choose and buy) | 常溫 Normal temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ | ||
氣氛保護(hù)（氣體客戶自備） Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves) | 常用氣體如下：氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均為無色、無臭、氣態(tài)的單原子分子 The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. | ||
溫度精度 Temperature precision | 沖溫值 Blunt temperature values：≤1-3℃；控溫精度 control precision：±1°C | ||
升溫速度： rate of temperature increase | 常溫開始400℃--800℃需要15分鐘；800℃-1200℃需要30分鐘；1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘 About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to 1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes | ||
高溫材料 High temperature material | 采用復(fù)合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder | ||
PC軟件 PC software | 測試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)！One set Special test PC software. USB communication interface. software interface synchronization display. analysis. save and print data! | ||
電極材料 Electrode materials | 鎢電極或鉬電極 Tungsten electrode or molybdenum electrode | ||
探針間距 The probe spacing | 直線型探針，探針中心間距：4mm；樣品要求大于13mm直徑Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter | ||
標(biāo)配外（選購）： Except standard configuration (optional) | 電腦和打印機(jī)1套；2.標(biāo)準(zhǔn)電阻1-5個(gè)； 1 . One set computer and printer 2.Standard resistance 1 to 5pcs | ||
高溫電源： High temperature power | 供電：400-1200℃ 電源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃電源380V；功率9KW： Power supply: 400-1200 ℃ power 220 v. 4 kw power;380 v;1400 ℃ to 1600 ℃ power supply380V ; power 9KW | ||
----我們一直在做：
研發(fā)、生產(chǎn)、銷售研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、租賃、實(shí)驗(yàn)室樣品分析及后延擴(kuò)展服
務(wù).
操作流程及步驟
1.系統(tǒng)連接：將各個(gè)部件及控制系統(tǒng)、電源及USB通訊接口接通；
2.調(diào)通系統(tǒng)的連接是否正常，可以從PC軟件及電阻率測試儀上的數(shù)據(jù)變化看出.
3.在高溫箱體上分段設(shè)定所需要溫度，當(dāng)然也可以不分段而設(shè)定一個(gè)溫度.具體高溫箱體儀表操作請查看《溫度儀表操作手冊》.
4.待樣品通過高溫夾具進(jìn)入高溫箱體.
5.開啟惰性氣體輸入閥門.
6.溫度實(shí)時(shí)上升過程中，樣品阻值實(shí)時(shí)曲線變化.
7.帶溫度達(dá)到設(shè)定值時(shí)，自動(dòng)停止加熱.
8.測試完畢，關(guān)閉高溫電源，帶10-20分鐘后.
9.通過高溫手套，移動(dòng)夾具上升離開高溫箱體.
10.用鑷子取出樣品.
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