寧波瑞柯微智能科技有限公司
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手持式四探針方阻測試儀
一.概述Overview:
參照硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及國家標準設(shè)計制造該儀器設(shè)計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》,采集集成電路恒流源系統(tǒng),提供便捷的操作模式,便攜式外型結(jié)構(gòu),可充電式電源系統(tǒng),待機時間長,上下限設(shè)定.
手持式四探針方阻測試儀
二.功能介紹Function introduction:
手持式外型結(jié)構(gòu)適用于車間生產(chǎn)、品管抽檢,外出、攜帶測量等要求測量的場所;也適用于中小型半導體材料生產(chǎn)企業(yè).
手持式四探針方阻測試儀
三.技術(shù)參數(shù)Technical Parameters:
規(guī)格型號Specification model | FT-391A | FT-391B | FT-391C |
1.方塊電阻范圍sheet resistance | 10~2.00×102Ω/□ | 10~2.00×103Ω/□ | 10~2.00×104Ω/□ |
2.電阻率范圍resistivity | 1~2×103Ω-cm | 1~2×104Ω-cm | 1~2×105Ω-cm |
3.分辨率resolution | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
4.顯示讀數(shù)display | 液晶顯示:電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. | ||
5.測試方式test mode | 單電測量single electrical measurement | ||
6.工作電源working power | 5V.1000mA | ||
7. 誤差errors | ≤4.5%(標準樣片結(jié)果standard samples) | ||
8.選配choose to buy | 選配1.方形探頭; 選配2.直線形探頭;探針間距;選配3:探針間距1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 選配4:探針材質(zhì):碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle.gilded copper hemispherical needles. |
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