浚和(上海)儀器科技有限公司
已認(rèn)證
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等離子清洗機(jī)
等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體、電子材料干式清洗中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,如硅膠片的光刻膠剝離、除去有機(jī)膜、界面活性化、微細(xì)研磨、除去碳化膜等領(lǐng)域,等離子產(chǎn)品都發(fā)揮了積極的作用。
從研究開(kāi)發(fā)到工藝生產(chǎn)使用,從表面微細(xì)加工到表面處理改質(zhì),等離子設(shè)備有著很廣的社會(huì)應(yīng)用需求。在多個(gè)領(lǐng)域也都有普遍應(yīng)用。
應(yīng)用行業(yè)
1 半導(dǎo)體相關(guān):
晶圓光阻附著力的提高;晶圓光阻的去除(灰化);晶圓光阻殘留物去除;MEMS疊加強(qiáng)度的提高LED。
2 光學(xué)相關(guān):
鏡片粘連、除霧;涂裝前處理;眼鏡鏡片涂裝前處理;隱形眼鏡親水性提高。
3 生物、醫(yī)用相關(guān):
微芯片強(qiáng)度提高;微芯片流道親水性提高;導(dǎo)管、導(dǎo)管針粘連強(qiáng)度提高。
4 低溫灰化:
石棉分析前處理;設(shè)備分析用前處理。
5 FPD相關(guān):
液晶屏粘合強(qiáng)度提高;保護(hù)、偏光板附著力提高等。
6 IC/LED組裝相關(guān):
基板電極部引線鍵合強(qiáng)度提高;芯片疊合(芯片粘連)粘連性提高;基板封裝(成型粘)連性提供;樹(shù)脂底部通孔殘留物的去除(膠渣)。
7 新材料:
高分子材料粘合強(qiáng)度提高;高分子材料涂裝前處理;粉體樣品粘合、形成前處理。
8 機(jī)電一體化:
液晶屏粘合強(qiáng)度提高,保護(hù)、偏光板附著力提高等。
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