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合肥康帕因設備技術(shù)有限公司

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雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) CVD1200C-II-SL 200D50

雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) CVD1200C-II-SL 200D50
  • 品牌:康帕因
  • 產(chǎn)地:安徽
  • 關注度:680
  • 型號:雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) CVD1200C-II-SL 200D50
  • 報價:面議
  • 信息完整度:
核心參數(shù)
    產(chǎn)品介紹

    設備描述

    CVD1200C-II-SL  200D50-5Z 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質(zhì)子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。CVD(化學氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設備

    技術(shù)參數(shù)










     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    雙溫區(qū)滑軌爐LFT1200C-II 200D50-5Z

    爐體結(jié)構(gòu)

     該設備采用雙層殼體并帶有風冷系統(tǒng),使其爐體表面溫度都小于55℃

     爐底安裝一對滑軌,可手動滑動,以便滿足特殊工藝的快速升降溫的求。

    爐管尺寸

    Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。)

    功率

    5kW

    輸入電壓

    220VAC 單相 50/60Hz

    加熱元件

    Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)

    **溫度

    **溫度:1200℃ 

    額定溫度:1100℃

    升溫速率

     ≦10℃/min(推薦)

    加熱區(qū)長度度

        兩個加熱區(qū)的長度都是200mm

        分別由獨立的溫控系統(tǒng)控制

    恒溫區(qū)長

         100+100mm(±1℃)

         可獲得較長恒溫區(qū)間

    控溫精度

         ±1℃

    快速連接法蘭

         Φ50快結(jié)式不銹鋼真空法蘭

         打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便
      另配備有可調(diào)節(jié)高度的法蘭支架



     

     

     

    五路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

    MFC-5Z


    電壓

     220VAC  單相  50/60Hz

    針閥材質(zhì)

     316不銹鋼

    量程

     50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇)

    工作溫度

     5~45℃

    外型尺寸

     600(L) x 600(W) x 700(H) mm

    電壓

     AC220V/50Hz單相

    功率

     23W



     

     

    真空系統(tǒng)

    LVU-10

    殼體尺寸

         600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

    **承載量

         1000 Lbs 

    抽氣速率

          10m3/h

        極限真空度:10-1Pa

        雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì))與真空泵連接

    質(zhì)保期

    一年質(zhì)保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈加熱元件等易耗件





    使用注意事項

         爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa     

        當爐體溫度高于1000時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

        石英管的長時間使用溫度<1100

        對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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    • 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) CVD1200C-II-SL 200D50的工作原理介紹?
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    工商信息

    企業(yè)名稱

    合肥康帕因設備技術(shù)有限公司

    企業(yè)類型

    有限責任公司(自然人投資或控股)

    信用代碼

    91340103MA2ND12N6H

    法人代表

    瞿其想

    注冊地址

    合肥市新站區(qū)穎河路22號安徽威世通預應力產(chǎn)品有限公司院內(nèi)4棟4樓

    成立日期

    2017-02-21

    注冊資本

    500萬元人民幣

    有效期限

    2017-02-21 至 無固定期限

    經(jīng)營范圍

    工業(yè)電爐、實驗設備、計算機產(chǎn)品、新能源材料研發(fā)、銷售、技術(shù)服務;元器件、輔助材料、零配件銷售、服務;計算機應用技術(shù)研發(fā)、服務。自營和代理各類商品及技術(shù)的進出口業(yè)務;。(依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動)
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