編號(hào):NMJS03181
篇名:碳納米管及其摻雜氧化物半導(dǎo)體氣敏傳感器
作者:林毓韜; 徐濤; 柳清菊;
關(guān)鍵詞:碳納米管; 氧化物半導(dǎo)體; 摻雜; 氣敏傳感器;
機(jī)構(gòu): 云南大學(xué)云南省高校納米材料與技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
摘要: 碳納米管氣敏傳感器以其工作溫度低和最低檢出限較低等優(yōu)點(diǎn)而備受關(guān)注,而碳納米管摻雜氧化物半導(dǎo)體氣敏傳感器兼?zhèn)淞搜趸锇雽?dǎo)體氣敏傳感器和碳納米管氣敏傳感器二者的優(yōu)點(diǎn),具有靈敏度較高、最低檢出限低和工作溫度低等特性。綜述了這兩類傳感器的研究進(jìn)展,介紹了其氣敏機(jī)理,并對(duì)相應(yīng)存在的問題及今后的發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了概述。