編號：FTJS03349
篇名：二氧化鈦太陽能電池減反射膜結構和光學特性
作者：趙保星； 周繼承； 榮林艷； 彭銀橋；
關鍵詞：二氧化鈦； 直流反應磁控濺射； 濺射功率； 減反射薄膜； 光學特性；
機構： 中南大學能源科學與工程學院；
摘要： 用濺射功率為100~500 W的直流反應磁控濺射法制備出不同結構與特性的TiO2薄膜樣品;采用原子力顯微鏡(AFM)、X線衍射儀(XRD)、傅里葉紅外光譜(FTIR)和紫外可見光分光光度計對薄膜的形貌、結構及光學特性進行表征;研究濺射功率對薄膜的結構、形貌及光學特性的影響。研究結果表明:沉積態(tài)薄膜均為無序結構,氧化物濺射模式下沉積的薄膜為透明狀態(tài),金屬模式下沉積的薄膜不透明,TiO2薄膜的折射率隨著濺射功率變化在1.8~2.3之間變化;在低功率制備的沉積態(tài)薄膜存在TiO0.5微晶,它使薄膜樣品的透過率降低,這主要是TiO0.5微晶對光波的強烈吸收所致;400 W濺射功率下制備出適合太陽能電池減反射膜應用的透過率高及折射率大的TiO2減反膜。
