編號(hào)：FTJS03488
篇名：單晶及多晶硅切割廢料中的高純硅回收
作者：郭菁； 邢鵬飛； 涂贛峰； 祁陽；
關(guān)鍵詞：單晶硅； 多晶硅； 切割料漿； 碳化硅； 聚乙二醇； 高純硅； 回收；
機(jī)構(gòu)： 東北大學(xué)材料與冶金學(xué)院； 東北大學(xué)理學(xué)院；
摘要： 為提高在切割廢料中高純硅的回收率,對(duì)沉降方法和條件進(jìn)行了優(yōu)化.根據(jù)單/多晶硅切割廢料漿的物理、化學(xué)性質(zhì),在m(水)∶m(聚乙二醇)=(8～9)∶1、含有少量無機(jī)鹽的水溶液體系中,在不同沉降時(shí)間和不同固液配比的條件下進(jìn)行正交試驗(yàn),通過鹽酸、氫氟酸進(jìn)行除雜,最后在1 500～1 600℃下進(jìn)行硅的鑄錠.通過X射線衍射、元素分析和粒徑分析研究沉降條件對(duì)于最終回收產(chǎn)物的影響.研究表明:在固液比為0.06、沉降時(shí)間5 h的條件下,沉降并經(jīng)過除雜得到的微粉中硅質(zhì)量分?jǐn)?shù)達(dá)到88.52%,碳化硅質(zhì)量分?jǐn)?shù)為11.46%,富集的微粉經(jīng)鑄錠得到的硅錠純度為98.71%,硅的回收率達(dá)到43.33%.
