編號(hào)：CSJS00088
篇名：SiO_2鈍化膜中鈉離子的二次離子質(zhì)譜分析
作者：馬農(nóng)農(nóng)； 何友琴； 王東雪； 陳瀟；
關(guān)鍵詞：鈍化膜； 鈉離子濃度； 二次離子質(zhì)譜分析；
機(jī)構(gòu)： 中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所；
摘要： 采用二次離子質(zhì)譜分析手段,檢測(cè)半導(dǎo)體晶片SiO2鈍化膜中鈉離子的濃度分布,采用標(biāo)樣法,計(jì)算得出相對(duì)靈敏度因子,給出濃度隨深度的定量測(cè)試結(jié)果 ,結(jié)果表明,該方法檢測(cè)靈敏度較高,既給出鈉離子在鈍化膜中的分布,也可以得到面密度,并研究了鈉離子的分布特點(diǎn)。
