編號：CSJS00089
篇名：基于SPR原理的納米級金屬膜厚在線測量系統(tǒng)中的視頻圖像處理
作者：金雯霞； 李孟超；
關(guān)鍵詞：SPR； 納米級； 膜厚； 在線測量； 滑動平均濾波； 小波分析； 時域濾波；
機構(gòu)： 上海理工大學(xué)光電信息與計算機工程學(xué)院；
摘要： 主要研究基于表面等離子共振(SPR)技術(shù)的納米級金屬膜厚在線測量系統(tǒng)中的視頻信號處理問題。由于CCD在動態(tài)連續(xù)采集圖像的過程中會受到環(huán)境以及工作臺旋轉(zhuǎn)的影響,從而會隨機地產(chǎn)生高斯白噪聲和圖像的扭曲現(xiàn)象,造成視頻圖像的模糊或者扭曲失效。通過對視頻圖像進(jìn)行滑動平均濾波、小波分析以及動態(tài)補償時域濾波的處理,消除了高斯白噪聲和避免圖像扭曲的發(fā)生,確保了CCD獲取視頻圖像的有效性與清晰度,從而提高了從圖像中獲取的共振角度變化量的準(zhǔn)確性,并進(jìn)一步提高了金屬薄膜厚度的測量精確度與可靠性。
