編號：NMJS03935
篇名：超薄AAO模板法輔助生長高密度有序金納米點陣列
作者：楊 震1； 2； 張 璋1； 黃康榮1； 周青偉1； 劉利偉1；
關(guān)鍵詞： 金納米點陣列； AAO模板； 熱蒸鍍； 二步氧化法；
機構(gòu)： (1.華南師范大學華南先進光電子研究院,先進材料研究所,廣東廣州 510006； 2.華南師范大學物理與電信工程學院,廣東廣州 510006)；
摘要： 在高真空狀態(tài)下采用孔徑為40nm的超薄陽極氧化鋁(AAO)模板作為掩膜進行金的熱蒸鍍,制備了平均粒徑為35.5nm、填充密度為1.45×1010cm-2的金納米點陣列.探索了高密度有序納米點陣列的制備工藝.通過掃描電子顯微鏡(SEM)和原子力顯微鏡(AFM)對金納米點陣列進行表面形貌表征,證明超薄 AAO模板法明顯改善了金納米點陣列分布的尺寸均勻度和有序度.
