編號：NMJS04895
篇名：飛秒四光束干涉技術加工石墨烯納米網(wǎng)
作者：李艷； 陳輝； 代克杰
關鍵詞：石墨烯； 納米網(wǎng)； 飛秒激光； 四光束干涉； 微納加工；
機構(gòu)： 平頂山學院電氣信息工程學院 高壓智能開關工程技術研究中心；
摘要： 由于石墨烯的特殊半導體性質(zhì),實現(xiàn)其在電子器件中實際應用的關鍵是對石墨烯層進行微納結(jié)構(gòu)處理。簡單介紹了飛秒四光束干涉技術應用于石墨烯微納加工的優(yōu)勢。對實現(xiàn)飛秒四光束干涉的兩種實驗方法進行了介紹并比較。然后選用改進的衍射分束方法對石墨烯進行加工,得到規(guī)則的二維納米網(wǎng)結(jié)構(gòu),網(wǎng)線的最小寬度可達600 nm左右。與Matlab理論模擬的四光束干涉花樣進行比較,通過調(diào)整干涉光束的能量,使得加工的結(jié)構(gòu)更加規(guī)則,和理論花樣十分吻合。該方法將對石墨烯微納結(jié)構(gòu)處理及其在集成微電子器件中的應用帶來新的思路。
