編號：FTJS04790
篇名：基于離子束拋光的KDP晶體表面嵌入鐵粉清洗研究
作者：袁征； 戴一帆； 解旭輝； 周林； 關(guān)朝亮； 馮殊瑞；
關(guān)鍵詞：KDP晶體； 磁流變拋光； 離子束拋光； 鐵粉去除；
機構(gòu)： 國防科技大學(xué)機電工程與自動化學(xué)院；
摘要： 磁流變拋光技術(shù)是實現(xiàn)KDP晶體超精密加工的新方法,但磁流變液中的鐵粉容易嵌入質(zhì)軟的KDP晶體表面。本文提出了利用基于低能離子濺射原理的離子束拋光技術(shù)去除KDP表面嵌入的鐵粉。利用紅外拉曼光譜和白光干涉儀分別分析了低能離子束拋光前后KDP晶體表面物質(zhì)結(jié)構(gòu)變化和表面粗糙度的變化;結(jié)果顯示,低能離子束濺射不改變KDP晶體表面的組成結(jié)構(gòu),并改善了KDP晶體表面質(zhì)量,因此離子束拋光可用于KDP晶體的加工;利用飛行時間二次離子質(zhì)譜分析技術(shù)分別對單點金剛石車削、磁流變拋光和低能離子束拋光后的KDP晶體表面進行元素分析,結(jié)果顯示低能離子束拋光可有效去除磁流變拋光在KDP晶體表面嵌入的鐵粉。
