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親水性固結磨料研磨墊自修整過程的實現(xiàn)探索

編號:SBJS00390

篇名:親水性固結磨料研磨墊自修整過程的實現(xiàn)探索

作者:唐曉驍; 朱永偉; 王成; 顧勇兵; 居志蘭; 李軍;

關鍵詞:親水性固結磨料研磨墊; 三乙醇胺; 材料去除率; 自修整; 砂漿磨損率;

機構: 南京航空航天大學機電學院,江蘇省精密與微細制造技術重點實驗室;

摘要: 親水性固結磨料研磨墊(FAP)的自修整過程影響著其加工性能的穩(wěn)定性.采用親水性樹脂和銅粉制備固結磨料研磨墊,研究研磨液中添加不同含量三乙醇胺對樹脂基體砂漿磨損率及研磨墊材料去除率大小、穩(wěn)定性的影響,以此來判斷研磨墊的自修整性能,探索親水性固結磨料研磨墊自修整的實現(xiàn)機理.結果表明:在本文實驗所考察范圍內,隨著研磨液中三乙醇胺含量的增加,樹脂基體的砂漿磨損率升高,當三乙醇胺體積比從0升至5%時,砂漿磨損率從0.003 3 g上升至0.009 1 g;研磨液中三乙醇胺濃度的提高有助于其材料去除率的穩(wěn)定,當三乙醇胺體積比從0升至5.0%時,材料去除率的穩(wěn)定性從11%提升至42.9%.可見,研磨液中加入三乙醇胺可以改善含銅粉親水性固結磨料研磨墊的自修整性能.

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