編號(hào)：NMJS05060
篇名：滾型納米壓印模具變形機(jī)理的研究
作者：蘭紅波； 徐方超； 李增輝； 梁森； 丁玉成；
關(guān)鍵詞：納米壓�。� 模具變形； 滾輪模具； 柔性接觸； 納米制造；
機(jī)構(gòu)： 青島理工大學(xué)納米制造與納光電子實(shí)驗(yàn)室； 西安交通大學(xué)機(jī)械制造系統(tǒng)工程國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室；
摘要： 滾型納米壓印是一種高效、低成本批量化制造大面積微納米結(jié)構(gòu)的方法,已經(jīng)被看成是最具有工業(yè)化應(yīng)用前景的微納米制造方法之一,同時(shí)也被認(rèn)為是實(shí)現(xiàn)納米壓印技術(shù)從實(shí)驗(yàn)室到工業(yè)化應(yīng)用的一個(gè)重要突破口。開展?jié)L型納米壓印過程中模具變形機(jī)理和規(guī)律的研究,提出滾型納米壓印兩種理論模型,揭示柔性接觸滾輪模具變形的機(jī)理、規(guī)律和主要影響因素,闡述了硬質(zhì)接觸和柔性接觸兩種壓印方式顯著區(qū)別和特點(diǎn)。該研究為探索減小彈性滾輪模具變形策略和方法,滾型納米壓印工藝要素的優(yōu)化,以及提高滾型納米壓印復(fù)型精度和壓印效率奠定了理論基礎(chǔ)。
