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鉬粉形貌對(duì)濺射靶材微觀組織的影響

編號(hào):CPJS02946

篇名:鉬粉形貌對(duì)濺射靶材微觀組織的影響

作者:李晶; 安耿; 劉仁智;

關(guān)鍵詞:鉬粉; 濺射靶材; 微觀組織;

機(jī)構(gòu): 金堆城鉬業(yè)股份有限公司技術(shù)中心;

摘要: 選用兩種不同形貌的鉬粉,經(jīng)過壓制、燒結(jié)、軋制、退火得到靶材產(chǎn)品,通過對(duì)金相組織的分析,得出顆粒大小均勻、無團(tuán)聚的鉬粉制備出的靶材組織較好,且大變形量有利于得到細(xì)小的組織結(jié)構(gòu)。

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