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粉末特性和加工工藝參數(shù)對(duì)鉬板組織和性能影響的研究

編號(hào):FTJS05197

篇名:粉末特性和加工工藝參數(shù)對(duì)鉬板組織和性能影響的研究

作者:傅崇偉; 魏修宇;

關(guān)鍵詞:粉末特性; 等靜壓; 熱軋;

機(jī)構(gòu): 株洲硬質(zhì)合金集團(tuán)有限公司; 硬質(zhì)合金國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;

摘要: 工業(yè)純鉬板材被廣泛用作LCD行業(yè)的濺射靶材,原始粉末特性和加工工藝參數(shù)對(duì)鉬板的組織和性能有著很大的影響。本文采用三種不同粒度的鉬粉,設(shè)置了不同的等靜壓制及軋制工藝,制備出鉬板及相應(yīng)試樣,并采用掃描電鏡、金相觀察及硬度、密度測(cè)試等手段對(duì)各樣品組織和性能進(jìn)行了表征。研究結(jié)果表明:采用3.3μm中等粒度且粒度分布均勻的鉬粉可制備出密度更高且晶粒更細(xì)的燒結(jié)鉬板坯;采用160 MPa保壓10 min并分級(jí)卸壓的等靜壓工藝可制備出整體密度更高的燒結(jié)板坯,但并不能減小燒結(jié)板坯的內(nèi)外密度差;減小軋制火次有助于得到細(xì)小晶粒組織,采用一火多道軋制工藝制備得到的鉬板在退火后平均晶粒大小為30μm。

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