編號:NMJS05406
篇名:用靜電自組裝法制備的石墨烯薄膜特性研究
作者:劉杰; 王彬; 石瑞英; 王婧; 劉沛波; 吳運熹; 翁志超;
關(guān)鍵詞:靜電自組裝; 層數(shù)可控; 石墨烯; 肼蒸汽還原; 紫外吸收光譜; 拉曼光譜;
機構(gòu): 四川大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院微電子學(xué)系; 微電子技術(shù)四川省重點實驗室; 四川大學(xué)化工學(xué)院;
摘要: 本文采用靜電自組裝技術(shù)制備石墨烯薄膜,以帶正電的聚乙烯亞胺作為粘結(jié)劑,將帶負(fù)電的氧化石墨烯自組裝在粘結(jié)劑上,形成多層氧化石墨烯/聚乙烯亞胺復(fù)合膜,然后在肼蒸汽下還原得到石墨烯薄膜樣品,并利用石墨烯薄膜的紫外吸收光譜、橢圓偏振光譜、掃描電鏡圖譜及拉曼光譜對其層數(shù)、厚度、形貌及還原效果進(jìn)行了研究。研究表明此方法制備的石墨烯薄膜具有雜質(zhì)含量少、層數(shù)與膜厚微觀可控且膜厚均勻等優(yōu)點。通過調(diào)節(jié)組裝材料種類、濃度和組裝次數(shù)可制備出結(jié)構(gòu)和功能自由控制的石墨烯薄膜,且此方法與微電子工藝兼容,易于制作石墨烯晶體管,因此在石墨烯晶體管領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。