編號：CPJS04933
篇名：Cu系納米金屬多層膜微柱體的形變與損傷及其尺寸效應(yīng)
作者：孫軍 ;張金鈺 ;吳凱 ;劉剛
關(guān)鍵詞：納米金屬多層膜 微柱體 塑性變形 形變損傷 尺寸效應(yīng)
機(jī)構(gòu)： 西安交通大學(xué)金屬材料強(qiáng)度國家重點實驗室,西安710049
摘要： 納米金屬多層膜材料已成為目前高性能微元器件以及互連結(jié)構(gòu)的核心材料體系,其服役過程中的變形損傷與斷裂是導(dǎo)致系統(tǒng)失效的關(guān)鍵因素.以本課題組近年來的研究結(jié)果為基礎(chǔ),結(jié)合當(dāng)前國內(nèi)外有關(guān)金屬多層膜微柱體塑性變形行為研究的最新進(jìn)展,闡述了金屬多層膜微柱體微觀結(jié)構(gòu)-尺寸約束-服役性能三者之間的關(guān)聯(lián)性,揭示了金屬多層膜微柱體變形模式與損傷的內(nèi)在規(guī)律,歸納了晶體/晶體與晶體/非晶兩類層狀結(jié)構(gòu)材料加工硬化/軟化行為的微觀機(jī)理,并對納米金屬多層膜研究的發(fā)展趨勢進(jìn)行了展望.
