編號：CPJS06072
篇名：氧化石墨烯薄膜厚度對元件濕敏性能的影響
作者：陳浩 彭同江 孫紅娟
關(guān)鍵詞： 氧化石墨烯 薄膜厚度 旋涂法 叉指電極 濕敏性能
機(jī)構(gòu)： 西南科技大學(xué)理學(xué)院 西南科技大學(xué)礦物材料及應(yīng)用研究所 西南科技大學(xué)分析測試中心
摘要： 以改進(jìn)Hummers法獲得的氧化石墨為原料制備氧化石墨烯，采用旋涂法通過使用不同濃度的氧化石墨烯水相分散液制備不同厚度的氧化石墨烯薄膜濕敏元件。采用X射線衍射儀（XRD）、紅外光譜儀（FT-IR）、掃描電子顯微鏡（SEM）、掃描探針顯微鏡（SPM）和濕度測試儀對氧化石墨烯薄膜的結(jié)構(gòu)、形貌和濕敏性能進(jìn)行分析。結(jié)果表明，在室溫下隨氧化石墨烯薄膜厚度減小（139nm、102nm、65nm、35nm和18nm），濕敏元件響應(yīng)時間由10S縮短至2S，恢復(fù)時間由37S縮短至8S；在11．3％-93．6％RH范圍內(nèi)，濕敏元件電阻隨濕度增加而顯著減小，從兆歐級減小至千歐級，變化達(dá)到3個數(shù)量級；濕敏元件的最佳響應(yīng)時間為2S，恢復(fù)時間為8S，最高靈敏度可迭96．06％，具有較好的濕敏性能。
