編號(hào)：FTJS07142
篇名：基于納米劃痕儀的單晶鍺納米溝槽加工實(shí)驗(yàn)研究
作者：楊曉京 羅良
關(guān)鍵詞： 納米溝槽 單晶鍺 切削速度 垂直載荷 刻劃次數(shù)
機(jī)構(gòu)： 昆明理工大學(xué)
摘要： 為了提高納米鍺器件的制造精度,使用納米劃痕儀對(duì)單晶鍺進(jìn)行納米溝槽刻劃加工實(shí)驗(yàn),采用掃描電子顯微鏡對(duì)溝槽形貌進(jìn)行觀察,并通過(guò)三維白光干涉表面形貌儀測(cè)量其三維形貌尺寸,研究了切削速度、施加的垂直載荷及刻劃次數(shù)對(duì)單晶鍺納米溝槽形貌的影響。建立了垂直載荷和刻劃次數(shù)與溝槽深度及寬度的線性擬合曲線和冪函數(shù)擬合曲線,并進(jìn)行分析。結(jié)果表明,單晶鍺納米溝槽的寬度和深度隨切削速度的變化非常小,隨著垂直載荷的增大,刻劃次數(shù)的增多而逐漸增大。曲線的擬合度很高,能夠?qū)χ圃旒{米溝槽的深度和寬度進(jìn)行較為準(zhǔn)確的預(yù)測(cè),從而可以降低工件表面粗糙度,提高工件表面質(zhì)量。
