編號(hào)：FTJS07161
篇名：蒸發(fā)誘導(dǎo)納米粒子自組裝薄膜制備工藝
作者：黎相孟 祝錫晶 魏慧芬 崔學(xué)良 馮昕宇
關(guān)鍵詞： 二氧化硅納米粒子 薄膜 蒸發(fā)誘導(dǎo)自組裝 幾何約束
機(jī)構(gòu)： 中北大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院 中北大學(xué)儀器與電子學(xué)院
摘要： 為了獲得高質(zhì)量的單層納米粒子薄膜,提出一種移動(dòng)蓋板約束下的蒸發(fā)誘導(dǎo)納米粒子自組裝工藝方法;研究了納米粒子懸浮液濃度、基材溫度、間隙高度和蓋板速度等工藝要素對(duì)二氧化硅納米粒子薄膜結(jié)構(gòu)成形形貌的影響規(guī)律。結(jié)果表明,在適當(dāng)?shù)膽腋∫簼舛�、基材溫度和蓋板移動(dòng)速度等條件下,可以獲得高質(zhì)量的致密單層二氧化硅納米粒子薄膜,典型的優(yōu)化工藝參數(shù)為:納米粒子懸浮液濃度5g·L^-1,間隙高度1mm,蓋板移動(dòng)速率110μm·s^-1,以及溫度30℃。
