編號：NMJS07030
篇名：Mg摻雜對溶膠-凝膠法生長MZO納米薄膜性能的影響
作者：賁旭博 端木慶鐸
關(guān)鍵詞： 氧化鎂鋅(MZO)納米薄膜 溶膠-凝膠法 Mg摻雜 形貌結(jié)構(gòu) 薄膜性能
機構(gòu)： 長春理工大學理學院
摘要： 通過溶膠-凝膠(sol-gel)法分別在石英及Si襯底上制備了含不同Mg原子數(shù)分數(shù)的氧化鎂鋅(MZO)納米薄膜,并利用X射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、高阻測量儀研究了Mg摻雜對MZO納米薄膜的表面形貌、結(jié)構(gòu)及電學性能等方面的影響。結(jié)果表明,隨著Mg原子數(shù)分數(shù)的增加,MZO薄膜的晶粒數(shù)目增加,且排列致密和均勻,表現(xiàn)為ZnO的六方纖鋅礦結(jié)構(gòu);當Mg原子數(shù)分數(shù)增加到一定程度時,薄膜XRD的半高寬(FWHM)增大,結(jié)晶質(zhì)量降低,MZO薄膜中ZnO的含量減少,晶粒尺寸變小,其電阻率明顯增加且方塊電阻穩(wěn)定性較好;通過紫外-可見光分光度計(UV-VIS)透射率曲線測試,發(fā)現(xiàn)MZO薄膜在紫外光區(qū)有明顯的吸收特性,隨著Mg含量的增加透射率曲線發(fā)生藍移。
