編號：SBJS00691
篇名：超薄金屬修飾石墨烯基氣體傳感器性能研究
作者：趙珉 褚衛(wèi)國 梁啟文 龍世瑜
關(guān)鍵詞： 氣體傳感器 石墨烯 金屬沉積 室溫探測 靈敏度 恢復(fù)率
機(jī)構(gòu)： 嶺南師范學(xué)院信息工程學(xué)院 國家納米科學(xué)中心
摘要： 為了改善本征石墨烯基電阻型氣體傳感器的室溫氣體響應(yīng)性能,采用電子束蒸鍍方法在原器件溝道區(qū)域分別沉積六種超薄金屬,包括1nm的Au、Ag、Pt、Pd、Ti和Al,并檢測這些器件對NO2和NH3氣體的響應(yīng)特性。發(fā)現(xiàn)修飾有1nmPt的器件對通入3min3×10^-6NO2氣體有最高的響應(yīng)靈敏度,達(dá)-56.6%,比原石墨烯器件提高了約9.3倍,但該器件響應(yīng)飽和較早。而修飾有1nmTi的器件對NO2氣體的響應(yīng)在靈敏度、恢復(fù)性等方面都有較好改善,且對NO2氣體濃度有最佳的線性響應(yīng),表現(xiàn)出較大的動(dòng)態(tài)探測范圍。然而除1nmTi以外,修飾有其他五種金屬的石墨烯對400×10^-6NH3的響應(yīng)均沒有明顯改善。文章對不同金屬材料修飾導(dǎo)致器件氣體敏感性能差異的原因進(jìn)行了分析與討論。
