編號：CYYJ02113
篇名：表面二氧化鈦對三氧化鎢薄膜電致變色性能的影響
作者：王美涵 陳昀 雷浩 黃奕博 文哲 馬佳玉
關(guān)鍵詞： 三氧化鎢 薄膜 二氧化鈦 磁控濺射 電致變色性能
機(jī)構(gòu)： 沈陽大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院 中國科學(xué)院金屬研究所
摘要： 采用直流反應(yīng)磁控濺射法在透明導(dǎo)電ITO玻璃上先沉積三氧化鎢(WO 3)薄膜,然后在其表面沉積二氧化鈦(TiO 2).利用場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)、X射線衍射儀(XRD)和X射線光電子能譜(XPS)考察薄膜表面斷面形貌、晶體結(jié)構(gòu)和化學(xué)組成.利用紫外-可見-近紅外分光光度計和電化學(xué)工作站測試薄膜的透射率、循環(huán)伏安和計時電流特性,分析其電致變色光學(xué)調(diào)制幅度和著色效率.結(jié)果表明沉積TiO 2后,薄膜仍為無定型結(jié)構(gòu),表面形貌無明顯變化,也未出現(xiàn)分層現(xiàn)象.薄膜表面成分為TiO 2和WO 3.與純WO 3薄膜相比,表面沉積TiO 2后降低了離子注入/脫出擴(kuò)散速率,導(dǎo)致薄膜著色效率下降.但在驅(qū)動電壓±1.2 V范圍內(nèi),表現(xiàn)出較好的著/褪色循環(huán)穩(wěn)定性,說明表面上的TiO 2可有效地抑制WO 3薄膜性能衰減,對薄膜表面起到保護(hù)作用.
