編號：CYYJ02212
篇名：基于AFM納米機(jī)械刻劃加工納米結(jié)構(gòu)及應(yīng)用
作者：王繼強 耿延泉 閆永達(dá)
關(guān)鍵詞： AFM 納米加工 納流控 拉曼檢測 納米線
機(jī)構(gòu)： 哈爾濱工業(yè)大學(xué)微系統(tǒng)與微結(jié)構(gòu)制造教育部重點實驗室
摘要： 原子力顯微鏡(AFM)是具有納米級精度的檢測設(shè)備,同時可應(yīng)用于納米結(jié)構(gòu)的加工。AFM納米加工已經(jīng)成為微納結(jié)構(gòu)加工的有效方法之一,可廣泛地應(yīng)用于機(jī)械、物理、化學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。文章首先簡要介紹傳統(tǒng)微納加工方法,并對基于AFM的納米機(jī)械加工方法進(jìn)行詳細(xì)介紹并分析了其相對優(yōu)勢;然后介紹了AFM加工得到的納米溝槽和納米點陣等結(jié)構(gòu)在納流控及拉曼檢測等領(lǐng)域的應(yīng)用,并對其未來的發(fā)展方向進(jìn)行展望。綜述展示了AFM納米機(jī)械加工的應(yīng)用潛力,為相關(guān)領(lǐng)域的研究提供了一種簡單、可行的納米加工方法。
