編號：FTJS08360
篇名：微波退火和快速熱退火下鈦調(diào)制鎳與鍺錫反應(yīng)
作者：劉偉 平云霞 楊俊 薛忠營 魏星 武愛民 俞文杰 張波
關(guān)鍵詞： 微波退火 快速熱退火 鍺錫合金 鈦插入層
機(jī)構(gòu)： 上海工程技術(shù)大學(xué)數(shù)理與統(tǒng)計(jì)學(xué)院 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
摘要： 本文研究了1 nm鈦?zhàn)鳛椴迦雽拥臈l件下,鎳與鍺錫合金在不同退火溫度下的固相反應(yīng),比較了微波退火和快速熱退火對鎳鍺錫化物形成的影響.研究結(jié)果表明:在微波退火300℃、快速熱退火350℃條件下,可以形成連續(xù)平整的鎳鍺錫薄膜.通過進(jìn)一步分析鎳鍺錫薄膜的元素分布,發(fā)現(xiàn)1 nm鈦插入層發(fā)生"層轉(zhuǎn)移"現(xiàn)象,鈦在鎳與鍺錫合金反應(yīng)后分布在樣品的表面,由"插入層"變?yōu)?蓋帽層";而錫元素因受到金屬鈦的調(diào)制作用,主要分布在鎳鍺錫薄膜/鍺錫襯底的界面.
