編號：FTJS08403
篇名：異質(zhì)誘導酞菁鋅有機薄膜晶體管的蒸鍍工藝
作者：董金鵬 孫強 李桂娟 蘇和平 王璐 朱陽陽 王麗娟
關鍵詞： p-6P 酞菁鋅(ZnPc) 薄膜生長 有機薄膜晶體管(OTFT) 電性能
機構(gòu)： 長春工業(yè)大學化學工程學院 海南科技職業(yè)大學
摘要： 通過調(diào)控對六聯(lián)苯(p-6P)誘導層和酞菁鋅(ZnPc)蒸鍍工藝條件,研究了有機半導體小分子的結(jié)晶生長成膜與ZnPc有機薄膜晶體管(OTFT)器件電性能的關系。結(jié)果表明,p-6P在180~190℃較高的襯底生長溫度和3~4 nm的生長厚度下能夠形成更大的結(jié)晶疇以及對二氧化硅襯底表面更好的覆蓋,有利于誘導ZnPc小分子的結(jié)晶生長,使晶疇的排列更加有序。同時通過X射線衍射分析晶體結(jié)構(gòu),結(jié)果表明p-6P襯底溫度的升高會明顯提高ZnPc薄膜的結(jié)晶性。電性能研究發(fā)現(xiàn),ZnPc蒸鍍厚度的增加會顯著提高器件的飽和電流和遷移率,在異質(zhì)誘導條件下,p-6P薄膜厚度為3 nm、ZnPc蒸鍍厚度為20 nm時,器件的飽和電流為1.08×10-6 A,遷移率為1.66×10-2 cm 2·V-1·s-1。
