編號(hào)：FTJS08974
篇名：氮化鋁陶瓷基板化學(xué)鍍鎳工藝優(yōu)化
作者：周波 馬驍 陳華三 楊磊
關(guān)鍵詞： 氮化鋁 陶瓷基板 化學(xué)鍍鎳 起泡 發(fā)黑 故障排除
機(jī)構(gòu)： 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十三研究所 合肥圣達(dá)電子科技實(shí)業(yè)有限公司
摘要： 氮化鋁陶瓷基板在化學(xué)鍍鎳生產(chǎn)過(guò)程中出現(xiàn)了局部區(qū)域起泡、腔體部位發(fā)黑的現(xiàn)象。通過(guò)故障復(fù)現(xiàn)試驗(yàn),發(fā)現(xiàn)原因有二:(1)化學(xué)鍍前基材鎢金屬化層在四周邊存在亮斑色差,亮斑區(qū)域?qū)儆诙蜗嗑奂?與中間正常區(qū)域相比,鎢層連續(xù)性較差,導(dǎo)致鍍層與基材咬合力不足而起泡;(2)在烘干過(guò)程中,由于產(chǎn)品倒扣,腔體內(nèi)部兜水,大量高溫下形成的水蒸氣在腔體處無(wú)法排出,氮化鋁與熱的水蒸氣長(zhǎng)時(shí)間接觸而發(fā)生水解反應(yīng),導(dǎo)致腔體周圍表面變黑。通過(guò)對(duì)鍍前來(lái)料的篩選,并在烘干時(shí)切水和腔體朝上放置,該問(wèn)題得到了解決。
