編號：FTJS09058
篇名：雙極性電泳法的微細(xì)中空電極側(cè)壁絕緣層制備
作者：孔全存 溫杰超 牛獻禮 田元波
關(guān)鍵詞： 微細(xì)電解加工 側(cè)壁絕緣 雙極性電泳 中空電極 高深寬比 微小孔
機構(gòu)： 北京信息科技大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 北京信息科技大學(xué)精密測量技術(shù)與儀器研究所
摘要： 針對孔徑(100~200)μm高深寬比微細(xì)孔電解加工中,電極側(cè)壁絕緣層在電解液沖擊和氣泡撕裂中易損傷/脫落等問題,提出一種基于丙烯酸環(huán)氧樹脂雙極性電泳法的微細(xì)中空電極側(cè)壁絕緣制備工藝。通過工藝參數(shù)優(yōu)化后,利用所制備的側(cè)壁絕緣電極,開展加工對比實驗,結(jié)果表明雙極性電泳法所制備的側(cè)壁絕緣層,具有較高的致密性、均勻性、耐久性和一致性,其性能符合微細(xì)電解加工對電極側(cè)壁絕緣層的特殊要求。最后,在500μm厚304鋼片上加工出入口約168.4μm、出口約165.8μm、錐度約為0.15°的高深寬比微細(xì)孔,其錐度降低了約60%以上,基本為直孔,可滿足實際需求,進而驗證了本方法的應(yīng)用可行性。
