編號(hào):CYYJ02736
篇名:基于羥基磷灰石的QCM濕度傳感器研究
作者:沈兵 徐甲強(qiáng) 王爐煜 陳楊
關(guān)鍵詞: 羥基磷灰石 石英晶體微天平 溶膠凝膠法 濕敏特性 檢測(cè)精度
機(jī)構(gòu): 上海大學(xué)理學(xué)院 上海搖櫓儀器有限設(shè)備有限公司
摘要: 隨著物聯(lián)網(wǎng)信息化技術(shù)的發(fā)展,濕度傳感器檢測(cè)精度的要求越來(lái)越高,研究具有更好濕敏特性的材料變得日益重要。采用溶膠凝膠法制備了一種具有均勻棒狀結(jié)構(gòu)、綠色無(wú)毒的羥基磷灰石納米材料,并將其負(fù)載在石英晶體微天平(QCM)上,構(gòu)筑了高穩(wěn)定性和敏感性的濕度傳感器。通過(guò)測(cè)量QCM的共振頻移,研究了所構(gòu)筑傳感器的濕敏特性,其共振頻移源于水分子氫鍵吸附所引發(fā)的附加質(zhì)量負(fù)載變化。檢測(cè)結(jié)果顯示,該傳感器能在11%~97%相對(duì)濕度范圍內(nèi)完成濕度檢測(cè),且靈敏度高(20.16 Hz/RH)、響應(yīng)時(shí)間短(12 s)、重現(xiàn)性好。研究成果在制造綠色無(wú)毒高靈敏性的濕度傳感器方面具有一定應(yīng)用價(jià)值。