編號：NMJS08352
篇名：單晶硅長晶爐用鎢鉬制品的質(zhì)量控制
作者：廖彬彬
關(guān)鍵詞： 單晶硅 長晶爐 鎢 鉬
機構(gòu)： 中鎢稀有金屬新材料（湖南）有限公司
摘要： 單晶硅長晶爐一般采用石墨材料作為容器、隔熱屏和加熱器,但是石墨材料容易產(chǎn)生揮發(fā)性雜質(zhì),影響單晶硅的純度要求,另外石墨碎裂、脫落也會引起熱場損壞。因此,有必要采用光亮鉬片制作的導(dǎo)流筒和保溫蓋封閉石墨材料,同時光亮鉬片的熱輻射作用也增強了長晶爐上部的溫度梯度,有利于加快長晶速度。在大直徑單晶硅的發(fā)展趨勢下,鎢絲繩由于其更高的強度而代替了鋼絲繩,但是鎢在常溫下是脆性材料,因此在使用過程中要注意防止硬物撞擊受傷失效。鉬重錘起到連接籽晶夾和鎢絲繩的作用,鉬重錘比鋼重錘具有更高的強度,同時也不會給單晶硅晶體帶去雜質(zhì)污染。為了保證鎢絲繩與鉬重錘在長晶過程中始終保持在同一軸線,可以采用半球型重錘本體,鎢絲繩的球形柱頭與重錘形成面面接觸配合,實時自動找心,有效降低了由于重心軸線偏移而產(chǎn)生晶體晃動的風(fēng)險,大幅提升單晶硅棒的品質(zhì)。
