編號(hào)：NMJS08376
篇名：納米氮化鋁粉體的制備及應(yīng)用研究進(jìn)展
作者：宋志鍵 劉世凱 黃威 徐天兵 陳穎鑫 孫亞光
關(guān)鍵詞： 氮化鋁 納米粉體 制備方法 應(yīng)用領(lǐng)域 研究進(jìn)展
機(jī)構(gòu)： 河南工業(yè)大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院 連云港市沃鑫高新材料有限公司
摘要： 納米氮化鋁(AlN)具有優(yōu)良的熱導(dǎo)率、電學(xué)性能和力學(xué)性能,被廣泛應(yīng)用于新一代半導(dǎo)體器件。氮化鋁器件的性能表現(xiàn)取決于氮化鋁粉體的質(zhì)量,因此,優(yōu)質(zhì)氮化鋁粉體的制備是氮化鋁行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。本文綜述了氮化鋁的納米粉體制備及相關(guān)應(yīng)用的研究進(jìn)展,并討論了氮化鋁的發(fā)展方向。
