編號(hào)：FTJS09294
篇名：Cu/SU-8復(fù)合結(jié)構(gòu)的高精度機(jī)械研磨
作者：田苗 周欣 陳舒靜 張笛 瞿敏妮 毛海平 烏李瑛
關(guān)鍵詞： 復(fù)合結(jié)構(gòu) 電鍍 研磨 SU-8 粗糙度
機(jī)構(gòu)： 上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院先進(jìn)電子材料與器件平臺(tái) 迪思科科技（中國(guó)）有限公司
摘要： 由于其獨(dú)特的厚度優(yōu)勢(shì),SU-8經(jīng)常在微加工領(lǐng)域被用作模具,通過(guò)電鍍實(shí)現(xiàn)金屬的大深寬比結(jié)構(gòu)。但是,由于電鍍的特殊性,其獲得的金屬結(jié)構(gòu)表面往往需要進(jìn)行研磨整平。對(duì)在SU-8大深寬比結(jié)構(gòu)中電鍍金屬后形成的復(fù)合結(jié)構(gòu)的研磨進(jìn)行研究,設(shè)計(jì)并制備了Cu/SU-8復(fù)合結(jié)構(gòu),并進(jìn)行了一系列表面磨削實(shí)驗(yàn),分析了復(fù)合結(jié)構(gòu)的研磨機(jī)理和磨輪的選擇依據(jù)。結(jié)果表明,通過(guò)降低磨輪粒度,并采用先樹(shù)脂結(jié)合劑磨輪、后陶瓷結(jié)合劑磨輪的研磨序列,可以使Cu和SU-8的粗糙度分別下降到36 nm和34.7 nm,使Cu向SU-8區(qū)域的延展大幅減輕,使Cu和SU-8的高度差降低到100 nm。通過(guò)Cu/SU-8復(fù)合結(jié)構(gòu)的研磨,研究了復(fù)合材料表面磨削過(guò)程中改善表面狀態(tài)的方法。研究成果可為提高復(fù)合結(jié)構(gòu)的磨削效率和加工精度提供支持和參考。
