編號：CYYJ03192
篇名：細(xì)粒度金剛石砂輪超精密磨削硅片的表面質(zhì)量
作者：王紫光 劉金鑫 尹劍 周平 沙智華 康仁科
關(guān)鍵詞： 磨削 金剛石 砂輪 單晶硅 表面質(zhì)量
機構(gòu)： 大連交通大學(xué)遼寧省復(fù)雜零件精密制造重點實驗室 大連理工大學(xué)精密與特種加工教育部重點實驗室
摘要： 為實現(xiàn)硅片高質(zhì)量表面的超精密磨削,研究了5000目、8000目和30000目金剛石砂輪磨削硅片的表面質(zhì)量。利用數(shù)學(xué)模型預(yù)測了硅片磨削表面的粗糙度Ra并對預(yù)測結(jié)果進行了試驗驗證,分析了硅片磨削表面的形貌特征;通過磨床主軸電機的電流變化對比分析了5000目、8000目和30000目砂輪磨削過程中的磨削力變化趨勢。研究結(jié)果表明:8000目砂輪磨削后的單晶硅表面粗糙度Ra小于10 nm,亞表面損傷深度小于150 nm,磨削過程中的磨削力穩(wěn)定,磨削質(zhì)量優(yōu)于5000目砂輪,磨削過程的穩(wěn)定性優(yōu)于30000目砂輪。
