編號：CPJS00708
篇名：多孔氧化鋁薄膜的制備
作者：盧云; 侯應(yīng)應(yīng); 劉俊; 陳大凱; 于大蔚;
關(guān)鍵詞：陽極氧化; 多孔三氧化二鋁薄膜; 影響因素;
機(jī)構(gòu)： 電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
摘要： 研究了多孔氧化鋁薄膜的制備工藝以及影響其成孔效果的主要因素。采用分步陽極氧化的方法和適當(dāng)?shù)墓に嚥襟E獲得了孔洞分布均勻、孔徑一致且耐水合的多孔氧化膜,此類氧化薄膜在經(jīng)過后續(xù)的特殊處理后可以用于制備濕度傳感器和AAO薄膜。
