編號：FTJS10194
篇名：化學(xué)氣相沉積氮化鈦薄膜的研究
作者：王俊寶 肖維維 梁蘭菊 高炬
關(guān)鍵詞： TiN薄膜 化學(xué)氣相沉積 制備
機構(gòu)： 棗莊學(xué)院光電工程學(xué)院
摘要： 氮化鈦薄膜材料具有優(yōu)良的性能,應(yīng)用廣闊,總結(jié)了化學(xué)氣相沉積制備氮化鈦薄膜的方法和原理,介紹了化學(xué)氣相沉積在制備氮化鈦方面的應(yīng)用現(xiàn)狀和研究成果,分析了各種化學(xué)氣相沉積方法的優(yōu)勢。
